由于SF6被电弧分解后产生HF，SO2，SOF2等有毒气体，会对金属件、绝缘件产生腐蚀作用，而水分的存在会加重腐蚀作用。因此，微量水分作为SF6开关设备出厂和投运前的必试项目，已广泛地受到重视，对SF6高压电气设备气体密度和微水含量的监测一直是相关行业对设备监测的一个重要的组成部分。